? 厚度測(cè)量范圍 0-1000μm
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? 測(cè)量厚度重復(fù)性精度 ±0.2-0.5μm
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? 掃描速度 ≤200mm/s
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? 掃描速度:80mm/S
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? 測(cè)量長(zhǎng)度重復(fù)性精度 ±0.1mm
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? 樣片長(zhǎng)度 ≤2000mm
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? 量具GR&R%(SV%) ≤10%
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? 樣片寬度 30-750mm
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? 量具線性R-sq% ≥90%
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